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用于加热基板的平板加热装置

  用于加热基板的平板加热装置_数学_自然科学_专业资料。(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)申请公布号 CN201708176U (43)申请公布日 2011.01.12 (21)申请号 CN1.

  (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)申请公布号 CN201708176U (43)申请公布日 2011.01.12 (21)申请号 CN1.9 (22)申请日 2010.05.25 (71)申请人 福建钧石能源有限公司 地址 362000 福建省泉州市鲤城区南环路 1303 号江南高新科技园区 (72)发明人 单洪青;张迎春;李沅民 (74)专利代理机构 代理人 (51)Int.CI 权利要求说明书 说明书 幅图 (54)发明名称 用于加热基板的平板加热装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种用于加热基板 的平板加热装置,所述基板表面用来在薄膜 沉积设备中沉积薄膜,所述薄膜沉积设备具 有间隔交替放置的电极板,所述基板安装在 各个所述电极板的表面,所述平板加热装置 包括复数个板状加热器,所述加热器分别位 于所述电极板两侧的基板之间。本实用新型 对基板加热时不会产生粉尘污染,而且具有 较高的加热效率和加热的均匀性。 法律状态 法律状态公告日 法律状态信息 法律状态 法律状态公告日 2011-01-12 2011-01-12 2011-09-07 2011-09-07 2020-06-19 法律状态信息 授权 授权 专利申请权、专利权的转移 专利申请权、专利权的转移 专利权的终止 法律状态 授权 授权 专利申请权、专利权的转移 专利申请权、专利权的转移 专利权的终止 权利要求说明书 用于加热基板的平板加热装置的权利要求说明书内容是....请下载后查看 说明书 用于加热基板的平板加热装置的说明书内容是....请下载后查看


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